Una criobomba es una bomba de vacío que utiliza una superficie de baja temperatura para condensar gas, también conocida como bomba de condensado. La criobomba puede obtener un vacío limpio con la tasa de bombeo más alta y la presión final más baja, y es ampliamente utilizada en la investigación y producción de semiconductores y circuitos integrados, así como en la investigación de haces moleculares, equipos de recubrimiento al vacío, instrumentos de análisis de superficie de vacío, implantadores de iones y simulación espacial. dispositivos, etc.
Principio de bombeo La criobomba está equipada con una placa fría enfriada a una temperatura muy baja por helio líquido o un refrigerador. Condensa el gas y mantiene la presión de vapor del condensado por debajo de la presión final de la bomba, para lograr el efecto de bombeo. Las principales funciones del bombeo a baja temperatura son la condensación a baja temperatura, la adsorción a baja temperatura y la captura a baja temperatura.
criobomba
(1) Condensación a baja temperatura: las moléculas de gas se condensan en la superficie de la placa fría o en la capa de gas condensada, y la presión de equilibrio es básicamente igual a la presión de vapor del condensado. Al bombear hidrógeno, la temperatura de la placa fría es más baja.
(2) Adsorción a baja temperatura: Las moléculas de gas se adsorben en la superficie del adsorbente recubierto en la placa fría con un espesor de una capa molecular. La presión de equilibrio para la adsorción es mucho menor que la presión de vapor a la misma temperatura.
(3) Atrapamiento criogénico: Las moléculas de gas que no se pueden condensar a la temperatura de extracción son enterradas y adsorbidas por la capa creciente de gas condensable.