Según el método de suministro del medio, las criobombas se dividen en los siguientes tipos:
Bomba criogénica del tanque de almacenamiento: el medio de baja temperatura (helio líquido) se inyecta directamente en el tanque de almacenamiento de la bomba para condensar el gas y lograr el propósito de bombeo.
Las ventajas de la bomba criogénica del tanque de almacenamiento son que la bomba es de tamaño pequeño, no vibra, no hace ruido y es fácil de operar.
La desventaja de la bomba criogénica del tanque de almacenamiento es que el costo operativo es alto, el tiempo de uso de cada llenado del medio de baja temperatura es corto y el sistema de vacío que necesita operar continuamente durante mucho tiempo necesita reponer periódicamente el trabajo medio, y está limitado por las condiciones de suministro del medio de baja temperatura.
Bomba criogénica de proceso: la tubería de enfriamiento del criopanel en la bomba está conectada al expansor de refrigeración, y el medio criogénico (gas helio) se suministra a la bomba criogénica a través de la tubería exterior, absorbe el calor del criopanel y luego regresa al compresor de refrigeración para formar un ciclo cerrado. El volumen de la bomba es enorme, la tubería es complicada y la pérdida de enfriamiento de la tubería es grande.
La ventaja de la bomba criogénica de proceso es que tiene un gran poder de enfriamiento y es más adecuada para eliminar el volumen atmosférico o una gran cámara de vacío.
Bomba criogénica para refrigerador pequeño: La bomba criogénica para refrigerador pequeño de ciclo cerrado se compone de un cuerpo de bomba de baja temperatura, un criopanel de extracción de aire, una placa de protección contra la radiación, un refrigerador y un compresor.
La mayor diferencia entre la bomba criogénica del refrigerador pequeño y la bomba criogénica del proceso es que la primera y la segunda cabeza fría del refrigerador están directamente conectadas a la pantalla de radiación y la placa fría, y el flujo en la tubería de conexión entre el refrigerador y el compresor es temperatura normal, temperatura alta (o baja). ) medio de gas presurizado, no hay problema de transporte de medio de baja temperatura, y tiene las ventajas de la criobomba de proceso y la criobomba de tanque de almacenamiento. Es una bomba de ultra alto vacío ideal y limpia en la actualidad.
Las criobombas para refrigeradores pequeños se utilizan ampliamente en la preparación de películas delgadas, tecnología microelectrónica, física de alta energía, equipos de matriz de anillo pequeño y otros campos industriales.