Las criopumps se realizan de acuerdo con el principio de condensación de gas, adsorción criogénica, atrapamiento criogénico o succión para obtener vacío.
1. De acuerdo con la presión de trabajo de la bomba, se puede dividir en criobomba para el rango de flujo continuo, criobomba para el rango de flujo molecular, generalmente bomba de condensado más una etapa de adsorción o una etapa de captura criogénica.
2. De acuerdo con el método de enfriamiento, se puede dividir en criobomba de tanque de almacenamiento, criobomba evaporativa y criobomba de refrigeración. Entre ellos, la criobomba del tanque de almacenamiento y la criobomba evaporativa utilizan refrigerante líquido para la refrigeración, la superficie del escudo de enfriamiento es de nitrógeno líquido de uso común y la superficie criogénica se usa comúnmente helio líquido o helio gaseoso para la refrigeración. Debido a la inflamabilidad, explosividad y alto precio del hidrógeno líquido, todavía se usa raramente a pesar de su mayor entalpía de evaporación que el helio líquido.
Los refrigeradores de criobomba de refrigeración son comúnmente utilizados por Gifford. Tipo McMahon (conocido como refrigerador G.M) y tipo Stirling (conocido como refrigerador St). Para criopomos de refrigeración con gran velocidad de bombeo, se puede usar un refrigerador de grado de temperatura de helio líquido, y se puede configurar una válvula J-T para formar un dispositivo de refrigeración de circulación líquida y, a veces, se usa nitrógeno líquido en un tanque de almacenamiento de líquido o una máquina de licuefacción de nitrógeno para enfriar el deflector y la superficie del escudo.
El rendimiento principal de la criobomba
(1) Más alto que la velocidad de bombeo, mejor que todos los demás tipos de bombas.
(2) No hay restricciones en la forma, se puede sumergir en la cámara de vacío o fijarse en la pared de la cámara de vacío con una brida.
(3) Puede proporcionar un vacío completamente limpio sin contaminación al sistema de vacío.
(4) Se puede obtener un grado de vacío de presión extremadamente baja, como por debajo de 10-12Pa. Además, el funcionamiento de la criobomba es confiable, y cuando la velocidad de bombeo es relativamente grande, el costo operativo de su inversión es menor que el de la bomba de vacío tradicional, y es fácil realizar la automatización.